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軽量、高強度 アルミウェハーリングのご提案

アルミウェハーリング  アルミウェハーリング

半導体他、ウェハーのダイシングや搬送等で使用されるSUS製及びプラスチック製のリングに対し、高強度アルミニウム製リングにてご提案させて頂きます。

特徴

【1】軽量

■比重:SUS比、約1/3

■例. 8インチ:SUS製 148g → アルミ製 58g ⇒差:90g、
  25枚入ケースで2.25kg差 ⇒ 輸送コスト削減

【2】高強度アルミ1.2t採用

アルミで心配される強度不足を、特殊グレードを採用する事により解決。
更に、1.2tとする事で、現行装置との互換性を有する。
引張り強さ400N/mm2、耐力300N/mm2とSUSに匹敵する強度。

【3】高耐久製

超硬質、耐摺動磨耗性メッキ採用により、プラスチック製では困難な リング上での繰り返しフィルムカットが可能。

■表面硬度:HRC60、Hv700

【4】ローコスト

6インチ、8インチをラインアップ、12インチ(計画中)、カスタム形状も承ります。

【5】環境対応

RoHSフリー

以上、MEMS、ワンウェイ、海外アウトソース他、ウェハー搬送用リングとしてお客様の“VA”のお役に立ちたいと考えております。

アルミウェハーリング比較表

インチ
サイズ
SUS
重量g
厚さmm
アルミ重量g
(SUS比)
表面処理 コスト
比較
その他
12
(参考)
290
1.5t
140
(48%)
2.0t
硬質Cr
無電界Ni

硬質無電界Ni
(耐摺動磨耗)
材料市況価格

SUS:アルミ
市況≒1:2
比重≒3:1
価格≒67%
ダイシング
フィルム
との密着性良好
8 148
1.2t
58
(39%)
1.2t
6 90
1.2t
33
(37%)
1.2t

高強度アルミ材料特性

  引張り強さ
(N/mm2
0.2%耐力
(N/mm2
比重 備考
弊社使用アルミ 400
(実測435)
300
(実測356)
2.66 非熱処理
(参考)A5052PH34 290 215 2.71 代表市販アルミ
非熱処理
(参考)ジュラルミン
A2017 T4
425 275 2.79 熱処理
(参考)超ジュラルミン
A2024 T4
470 325 2.78 熱処理
(航空機機体他、高価)
(参考)SUS420J2
焼きなまし
540 225 7.75 マルテンサイト系
(強磁性)
(参考)SUS420J2
焼入焼戻
(735) (539) 7.75 刃物用途
(寸法不安定)
(参考)SUS304 520 205 7.93 オーステナイト系
(非磁性)

※数値は代表値であり、保証値ではございません。


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